شرائح التنظيف مع Plasma

[Ben Krasnow] اخترق معا طريقة لتنظيف الجوانب باستخدام البلازما. يستخدم إعداده مضخة فراغ ميكانيكية لإخلاء جرة الجرس. يتم ملف جرة الجرس بهذا لفائف نحاسية، وهو متصل بمرسل RF. عن طريق نقل RF إلى الملف، يتم إنشاء البلازما داخل جرة الجرس.

يستخدم تنظيف البلازما على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات. اعتمادا على الغاز المستخدم، يمكن أن يكون لها آثار تنظيف مختلفة. على سبيل المثال، إن بيئة غنية بالأكسجين فعالة للغاية في كسر السندات العضوية وإزالة الهيدروكربونات. يتم استخدامه بعد التنظيف اليدوي لضمان إزالتها جميع الشوائب في المذيبات المستخدمة للتنظيف بالكامل. وفقا ل [Ben]، من الممكن الحصول على سطح نظيف بشكل جذري باستخدام هذه العملية، وحتى إزالة الركيزة إذا كانت مستويات الطاقة مرتفعة للغاية.

هذه الآلات هي عادة مكلفة ومتخصصة، ولكن [بن] تمكنت من طهي واحدة على مقعده. بعد الاستراحة، تحقق من نزهة فيديو منظف البلازما [بن]